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On the nature of dislocation loops in As-implanted and postannealed Si wafers
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Applied Physics |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Journal of Applied Physics, 48, 1977, 8, S. 3612-3613 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
AIP Publishing
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Schlagwörter: |