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Buchumschlag von Deep surface damage of SiO2 by sputtering with low energy Ar-ions
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Deep surface damage of SiO2 by sputtering with low energy Ar-ions

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Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel: Surface Science
Personen und Körperschaften: Collart, E, Visser, R.J
In: Surface Science, 218, 1989, 2-3, S. L497-L504
Format: E-Article
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Elsevier BV
Schlagwörter: