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Deep surface damage of SiO2 by sputtering with low energy Ar-ions
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Surface Science |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Surface Science, 218, 1989, 2-3, S. L497-L504 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |